Отцом нанотехнологии можно считать греческого философа Демокрита. Примерно в 400 г. до н.э. он впервые использовал слово «атом», что в переводе с греческого означает «неделимый», для описания самой малой частицы вещества.
http://nano.86sch5.edusite.ru/p13aa1.html

Недавно на острове Зеландия было найдено около двух тысяч золотых спиралей, датированных 900-700 годами до нашей эры. Сайт Датского национального музея сообщает, что все изделия изготовлены из тонкой золотой проволоки и их максимальная длина составляет три сантиметра. Может, здесь не обошлось без нанотехнологий? Но откуда они в глубокой древности?
При раскопках также нашли пару золотых застежек и остатки украшенного мехом деревянного ларца
https://www.pravda.ru/mysterious/1268290-nanotechnolo..

Дальтон в 1805 г. утверждал, что: 1) элементы состоят из атомов, 2) атомы одного элемента идентичны и отличаются от атомов другого элемента и 3) атомы не могут быть разрушены в химической реакции. Но лишь с конца XIX века стали развиваться теории строения атома, что и вызвало революцию в физике.
http://schoolnano.ru/node/101

Вероятно, впервые в современной истории нанотехнологический прорыв был достигнут американским изобретателем Джорджем Истмэном (впоследствии основал известную компанию Kodak), который изготовил фотопленку.
http://nano.86sch5.edusite.ru/p13aa1.html

В 1931 году немецкие физики Макс Кнолл и Эрнст Руска создали электронный микроскоп, который впервые позволил исследовать нанообъекты.
http://nano.86sch5.edusite.ru/p13aa1.html

Японский физик Норио Танигучи, работавший в Токийском университете, предложил термин "нанотехнологии" (процесс разделения, сборки и изменения материалов путем воздействия на них одним атомом или одной молекулой), быстро завоевавший популярность в научных кругах.

Первый 3D-принтер изобрел американский инженер Чак Халл в 1984 году. Патент США под названием «Аппарат для создания трехмерных объектов с помощью стереолитографии» был зарегистрирован 8 августа 1984 года.
https://yandex.ru/znatoki/question/computers/kogda_po..

В России первая отечественная нанотехнологическая установка, осуществлявшая направленный уход частиц с острия зонда микроскопа под влиянием нагрева, заработала в 1987 - 1988 годах в научно-исследовательском институте «Дельта». Она была создана под руководством П. Н. Лускиновича.
http://ruskline.ru/monitoring_smi/2010/01/30/nanotehnologii_i_eticheskie_aspekty/

Его двумерная (толщиной в один атом) кристаллическая решетка проявляет необычные электрофизические свойства. Впервые графен был получен Андреем Геймом и Константином Новоселовым в 2004 году (Нобелевская премия за 2010-й). Его планируется использовать в электронике (в сверхтонких и сверхбыстрых транзисторах), композитах, электродах и т. д. Кроме того, графен — второй по прочности материал на свете (на первом месте — карбин).
http://www.vokrugsveta.ru/article/239630/

Жёсткие диски — в 2007 году Питер Грюнберг и Альберт Ферт получили Нобелевскую премию по физике за открытие GMR-эффекта, позволяющего производить запись данных на жестких дисках с атомарной плотностью информации.
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9D%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D1%82%D0%B5%D1%85%D0%BD%D0%BE%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D0%B8%D1%8F#Новейшие_достижения

В 2012 году эксперименты физиков попали в Книгу рекордов Гиннесса. Сталкивая ионы золота на ускорителе, ученые добились возникновения кварк-глюонной плазмы с температурой 4 триллиона °С (в 250 тысяч раз горячее, чем в центре Солнца). Спустя примерно микросекунду после Большого взрыва Вселенная была наполнена как раз такой плазмой.
https://yandex.ru/znatoki/question/computers/kogda_po..
http://www.vokrugsveta.ru/article/239630/